1. 電容式壓力傳感器:它基于電容變化的原理,將測(cè)量介質(zhì)與電容式傳感器之間形成的電容變化轉(zhuǎn)換為與氣體壓力成比例的電信號(hào)輸出。
2. 壓阻式壓力傳感器:它基于通電導(dǎo)電性材料電阻隨著受力變化的原理,將測(cè)量介質(zhì)與壓阻式傳感器之間形成的電阻變化轉(zhuǎn)化為與氣體壓力成比例的電信號(hào)輸出。
3. 氣密性壓力傳感器:它基于體積變化的原理,將測(cè)量介質(zhì)對(duì)體積的壓縮或膨脹轉(zhuǎn)化為與氣體壓力成比例的力學(xué)信號(hào)輸出。
4. 振動(dòng)式壓力傳感器:它通過(guò)利用使薄膜產(chǎn)生彎曲的振動(dòng)原理,將測(cè)量介質(zhì)與振動(dòng)式傳感器之間產(chǎn)生的頻率或振幅變化轉(zhuǎn)換為與氣體壓力成比例的電信號(hào)輸出。
5. 熱敏電阻壓力傳感器:它基于電阻隨溫度變化的原理,將測(cè)量介質(zhì)溫度與壓力的關(guān)系通過(guò)熱敏電阻的電阻變化轉(zhuǎn)化為與氣體壓力成比例的電信號(hào)輸出。
6. 壓電式壓力傳感器:它利用壓電晶體的電荷量隨受力變化的原理,將測(cè)量介質(zhì)與壓電式傳感器之間形成的電荷變化轉(zhuǎn)化為與氣體壓力成比例的電信號(hào)輸出。
7. 其他類(lèi)型氣體壓力傳感器,包括負(fù)荷細(xì)紋片壓力傳感器、納米壓力傳感器、納米桿壓力傳感器、MEMS壓力傳感器等。
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